М 59 Микроакселерометры на различные диапазоны измерения линейных ускорений для систем инерциальной навигации / С. П. Тимошенков, В. В. Калугин, Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, В. А. Калинин, К. А. Строганов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 32-35 : рис. - Библиогр.: с. 35 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ЕМКОСТНОЙ -- МЭМС -- МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРЫ Аннотация: Рассмотрены микромеханические акселерометры, имеющие потенциально широкую область применения. Разработаны микроакселерометры с емкостной системой измерения перемещений чувствительного элемента, достоинством которой является высокая чувствительность, простота конструкции и технологии изготовления |