Г 83 Гридчин, В. А. Калибровка термопар сенсора плотности теплового потока / В. А. Гридчин, О. В. Лобач // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 22-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОТОК ТЕПЛОВОЙ -- СЕНСОР -- КАЛИБРОВКА -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ Аннотация: Рассматривается калибровка термопар сенсора плотности теплового потока, содержащего профилированную кремниевую мембрану и термопары алюминий- поликремний, с помощью двух интегральных разогревающих резисторов, асимметрично расположенных относительно калибруемой термопары либо батареи термопар. Показана возможность определения линейного и квадратичного коэффициентов термоЭДС термопары и оценена эффективность предложенной конечно-элементной модели температурного поля чипа сенсора |