К 65 Конструкция и технология создания матриц преобразователей давления для эндоскопических тактильных датчиков / В. В. Амеличев, В. М. Буданов , Д. В. Гусев, Ю. А. Михайлов, М. Э. Соколов , В. С. Суханов, Р. Д. Тихонов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 11. - С. 27-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ТАКТИЛЬНЫЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ Аннотация: Разработана и исследована новая конструкция кристаллов матриц интегральных преобразователей давления МИПД-7для тактильных датчиков на основе плоских кремниевых мембран с тензорезистивными преобразователями. Тактильные датчики на основе МИПД-7 прошли полный цикл клинических испытаний в составе эндохирургической аппаратуры |