О-75 Особенности строения и перспективы использования пленок Ленгмюра—Блоджетт жестко-цепного полиимида / С. И. Голоудин, В. В. Лучинин, В. М. Пасюта, М. Б. Криштаб, М. Ф. Панов, В. В. Розанов, В. П. Склизкова, В. В. Кудрявцев, М. Р. Бакланов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 9-15 : табл., рис. - Библиогр.: с. 15 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИИМИД -- ЛЕНГМЮР—БЛОДЖЕТТ -- МЕМБРАНЫ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ ПОР Аннотация: Обсуждаются результаты исследования пленок Ленгмюра—Блоджетт преполимера полиимида — алкиламмонийной соли жесткоцепной полиамидокислоты и соответствующего полиимида, полученные методами эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, малоуглового рентгеновскогорассеяния и рентгеновской рефлектометрии. Показана эффективность использования наноразмерных полиимидных пленок для прецизионного снижения внутреннего напряжения в мембране из нитрида кремния, а также в качестве покрытий, стабилизирующих электретный заряд в структуре SiO—полиимид. Продемонстрирована высокая планаризующая способность рассматриваемых пленок |