А 95 Ахметов, Д. Г. Микроэлектромеханические электростатические высокопроизводительные инжекторы микроструй жидкости [Текст] / Д. Г. Ахметов, Э. Г. Косцов, А. А. Соколов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 53-59 : рис. - Библиогр.: с. 59-60 (47 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОИНЖЕКТОРЫ -- МИКРОАКТЮАТОР -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОСТРУЙНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ |