Г 21 Гаршин, А. Я. Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией / А. Я. Гаршин, А. В. Тучин, Е. Н. Бормонтов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26 : рис., табл. - Библиогр.: с. 26 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- КОМПЕНСАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков |