М 92 Мухуров, Н. И. Электростатический микроактюатор с расширенными функциональными возможностями / Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 27-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ -- ФУНКЦИИ УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ Аннотация: Предложена конструкция плоскопараллельного электростатического микроактюатора, выполняющего расширенный ряд независимых функций управления и контроля |