Ф 81 Фоторезисты для встречно-штыревых преобразователей систем радиочастотной идентификации на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах / В. А. Калинин, В. В. Пинаев, А. В. Макарова, А. В. Захаров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 30-33 : рис., табл. - Библиогр.: с. 33 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФОТОРЕЗИСТ -- ВОЛНЫ ПОВЕРХНОСТНЫЕ АКУСТИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ВСТРЕЧНО-ШТЫРЕВЫЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ "ВЗРЫВНАЯ" -- РЧИД -- ПАВ -- ВШП Аннотация: Дан обзор и приведена сравнительная характеристика фоторезистов для технологии "взрывной" фотолитографии в целях получения встречно-штыревых преобразователей (ВШП) систем радиочастотной идентификации (РЧИД) на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Выделен фоторезист, удовлетворяющий особенностям изделий на ПАВ. Использование данного метода позволит обеспечить надежный контроль над размерами элементов |