С 72 Спирин, В. Г. Проблемы создания микросборок высокой плотности упаковки / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 8. - С. 17-20. - Библиогр.: с. 20 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСБОРКА -- ПЛОТНОСТЬ УПАКОВКИ -- МСБ -- ТЕХНОЛОГИЯ МСБ Аннотация: Рассмотрены основные виды проблем, которые препятствуют созданию тонкопленочных микросборок высокой плотности упаковки. Предложены пути решения этих проблем. Даны рекомендации по совершенствованию технологического процесса и оборудования |