И 88 Исследование источников случайных погрешностей в измерительном сканирующем зондовом микроскопе «НаноСкан-3Di» / К. В. Гоголинский, К. Л. Губский, А. П. Кузнецов, В. Н. Решетов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 56-59 : рис., табл. - Библиогр.: с. 59 (6 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИАПАЗОН НАНОМЕТРОВЫЙ -- МИКРОСКОП СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ -- МИКРОСКОП «НАНОСКАН-3DI» -- ПОГРЕШНОСТИ -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ТРЕХКООРДИНАТНЫЙ ГЕТЕРОДИННЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ -- ВОСПРОИЗВОДИМОСТЬ Аннотация: Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне |