М 92 Мухуров, Н. И. Электростатические микрокоммутаторы. Часть 1. Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 10. - С. 42-48. - Библиогр.: с. 48 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЕТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Применена методика расчета с учетом равенства активных электростатических и реактивных механических сил с разделением в рабочем цикле параметров на постоянные (конструктивная константа) и переменные (базовая функция) составляющие. Получены формулы эффективного вычисления основных параметров |