К 27 Карташев, В. А. Учет геометрии острия иглы для коррекции измерений туннельного микроскопа / В. А. Карташев, В. В. Карташев // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 2-4. - Библиогр.: с. 4 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП -- ИНТЕРПРЕТАЦИЯ ИЗМЕРЕНИЙ СТМ -- ФОРМА ОСТРИЯ ИГЛЫ Аннотация: Ошибки измерений нанорельефа поверхности туннельным микроскопом обусловлены особенностями работы пьезоприводов и системы управления движением зонда. В результате на изображении измеренной поверхности возможно появление объектов, которые в реальности отсутствуют. Учет геометрии острия иглы при интерпретации измерений позволяет существенно уменьшить вклад указанных ошибок. Рассмотрено действие этого фильтра на примере искажений, возникающих при сканировании элементов рельефа с большими изменениями наклона поверхности |