А 13 Абдуллаев, Д. А. Изменение набора применяемых материалов при уменьшении топологических норм производства интегральных микросхем / Д. А. Абдуллаев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 32-38 : рис., граф. - Библиогр.: с. 37 (23 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА (ИМС) -- ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ НОРМЫ -- МЕДНЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ -- LOW-K ДИЭЛЕКТРИКИ -- HIGH-K ДИЭЛЕКТРИКИ -- АЛЮМИНИЕВЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ Аннотация: Описывается, как изменяется набор используемых материалов в производстве интегральных микросхем при переходе от топологических норм 180 нм к топологических нормам 32 и 22 нм |