О-75 Особенности технологии изготовления высокочувствительных неохлаждаемых микроболометрических матриц / С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, В. Е. Турков, Д. Д. Рискин, П. Н. Кудрявцев, Ю. С. Четверов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 41-47 : граф., табл., рис. - Библиогр.: с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НЕОХЛАЖДАЕМАЯ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКАЯ МАТРИЦА -- ТЕМПЕРАТУРНЫЙ КОЭФФИЦИЕНТ СОПРОТИВЛЕНИЯ -- МИКРОМОСТИКОВАЯ СТРУКТУРА -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИД ВАНАДИЯ -- ПОГЛОЩЕНИЕ ИНФРАКРАСНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ -- ТЕПЛОВАЯ ПОСТОЯННАЯ ВРЕМЕНИ Аннотация: Представлены результаты комплексных исследований основных характеристик микромостиковых структур, а также их зависимость от режимов изготовления и конструктивных особенностей. Изготовленные микромостиковые структуры обеспечивают оптическую плотность полосы поглощения ИК-излучения 1000 см -1 на уровне примерно 0,5, температурный коэффициент сопротивления термочувствительного слоя 1,7 %, тепловую постоянную времени в диапазоне 11,9...12,6 мс |