Г 16 Галперин, В. А. Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора / В. А. Галперин, Н. А. Разживин // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 12-15 : табл., граф. - Библиогр.: с. 15 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕАКТИВНО-ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМА -- ПРОФИЛЬ ТРАВЛЕНИЯ -- ТРИММИНГ РЕЗИСТА Аннотация: Приведены результаты исследования процесса тримминга маски, протекающих механизмов реакций и совместимости с процессом травления поликремния. Получены зависимости и оптимальные значения основных технологических параметров стадий, определяющих качество процесса. Проведена оценка влияния параметров и реагентов стадии тримминга на получаемый линейный размер формируемых элементов поликремния, равномерность и минимизацию эффекта микрозагрузки. Сформирован комплекс мер по оптимизации и стабилизации процесса и получению профиля травления с требуемым размером формируемых элементов в условиях опытного производства |