М 73 Многоканальные тензорезистивные преобразователи давления / Д. В. Гусев, Н. Л. Данилова, Н. С. Землянников, В. С. Суханов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 52-54 : табл., граф. - Библиогр.: с. 54 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- МНОГОКАНАЛЬНЫЙ СКАНЕР ДАВЛЕНИЯ Аннотация: В основе многих современных средств измерений использованы устройства на основе МЭМС, изготовленные по различным технологиям. В данной работе рассмотрена конструкция многоканального сканера давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. Предложенное устройство основано на кремниевых тензорезистивных преобразователях давления |