П 44 Подходы к разделению кристаллов стековых сборок при анализе отказов многокристальных интегральных схем / Г. В. Молодцова, Р. А. Милованов, Д. Н. Зубов, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 22-24 : табл., рис. - Библиогр.: с. 24 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АНАЛИЗ ОТКАЗОВ -- 3D PACKAGE -- МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ (ИС) -- РАЗДЕЛЕНИЕ КРИСТАЛЛОВ Аннотация: При анализе отказов современных многокристальных ИС типа 3D package, возникает необходимость обеспечения доступа к каждому кристаллу стековой сборки. В работе рассмотрены подходы к разделению кристаллов на основе длительного воздействия дымящей азотной кислоты и циклического изменения температуры образца. Проведенные для flash-накопителя 32 Гбайт экспериментальные исследования показали возможность применения указанных подходов для получения доступа к каждому кристаллу стековой сборки |