Л 17 Лазерное микроструктурирование поверхности сверхтвердых аморфных углеродных пленок [Текст] / М. С. Комленок [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 48-53 : рис. - Библиогр.: с. 53 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ -- ПОВЕРХНОСТЬ -- ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ |