Г 63 Гольцова, М. М. МЭМС: большие рынки малых устрйств [Текст] / М. М. Гольцова, В. А. Юдинцев // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13 : рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- МЭМС -- МЭМС-УСТРОЙСТВА |