О-42 Одиноков, В. Специализированное оборудование для исследования и реализации новых технологий [Текст] / В. Одиноков, Г. Павлов // Наноиндустрия. - 2008. - № 3. - С. 14-18 : рис., табл., фото . - ISSN 1993-8578
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОПЕЧЬ -- ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) основан в 1962 году. Входит в бизнес направление "Микроэлектронные решения" ОАО "СИТРОНИКС". Предприятие специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD), а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и восстановления, газофазного осаждения, отжига, в том числе быстрого термического |