О-42 Одиноков, В. Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок "МАГНА ТМ -200-01" [Текст] / В. Одиноков, Г. Павлов // Наноиндустрия. - 2008. - № 4. - С. 10-12 : рис., табл. - Библиогр.: с. 12 (2 назв.) . - ISSN 1993-8578
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Приоритетным напрвлением деятельности являются разработки оборудования для реализации новых технологических процессов, применяемых в наноэлектронике, микромеханике, при синтезе наноматериалов |