Т 21 Тарнавский, Г. А. Программные комплексы компьютерного проектирования микроэлектромеханических систем [Текст] / Г. А. Тарнавский, Г. А. Анищик // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 23-29 : рис., табл. - Библиогр. : с. 29 (20 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ |