У 79 Установка эпитаксиального наращивания слоев для индивидуальной обработки подложек большого диаметра [] / Х. Миркурбанов [и др.] // Наноиндустрия. - 2008. - № 6. - С. 4-6 : рис. - Библиогр. : с. 6 (6 назв.) . - ISSN 1993-8578
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ |