И 88 Исследование упругих и фрикционных свойств субмикронных слоев кремния на сапфире [Текст] / П. А. Шиляев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - 32-34. : рис. - Библиогр.: с. 34 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЛО -- АСМ |