Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39 : рис. - Библиогр. : с. 39 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: МЕХАНИКА Кл.слова (ненормированные): МЭМС (ТТМЭМС) -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ |