М 74 Мокров , Е. А. Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 31-36 : рис. - Библиогр. : с. 36 (8 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДИЭЛЕКТРИК ДЕФОРМИРУЕМЫЙ Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком с планарными и цилиндрическими электродами. Определены оптимальные соотношения их основных элементов |