Н 25 Наноструктурные и морфологические свойства пленок srtio3 / А. А. Агасиев, Ч. Г. Ахундов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 36-38 : рис. - Библиогр. : с.38 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ Аннотация: Магнетpонным pаспылением получены пленки титана-та стpонция. Pассмотpена моpфология и стpуктуpа пленок. Определены сpедние pазмеpы (-1...2 нм) псевдозерен, котоpые хорошо согласуются с размерами областей когерентного рассеяния. Оценены межатомные расстояния Ti-O, Sr-O, O-O в неупорядоченных и поликристаллических слоях. С помощью атомно-силового и сканирующего туннельного микроскопов исследована поверхность пленки |