Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком / Е. М. Белозубов // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 48-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (6 назв.)
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДИЭЛЕКТРИК МОНОЛИТНЫЙ Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком. Показаны преимущества и недостатки различных вариантов построения таких систем |