Р 24 Расчет терморезистивного анемометрического преобразователя на мембране / А. А. Бобров, А. Ф. Попков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 34-39 : рис. - Библиогр. : с. 39 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА НАНО- И МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ РАСХОДА ГАЗА -- ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ Аннотация: Дан теоретический анализ температурного режима работы в стационарном режиме терморезистивного анемометра на основе кремниевой мембраны в качестве сенсора, регистрирующего значение скорости и расхода газового потока. Описана конструкция разрабатываемого анемометрического преобразователя, его термодинамическая модель и обсуждается связь его конструктивных параметров с выходными характеристиками сенсора. Приведены результаты экспериментальной проверки обсуждаемой модели |