П 32 Пивоненков, Б. И. Критерий качества сенсоров механических величин / Б. И. Пивоненков // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 42-48. - Библиогр. : с. 48 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН -- МЭМС -- КРИТЕРИЙ КАЧЕСТВА СЕНСОРОВ Аннотация: Предлагается критерий качества сенсоров механических величин (отношение квадрата информативности в трех вариантах, в зависимости от области применения сенсора - к энергии деформации сенсора). Критерий объясняет направления и результаты развития сенсоров за период с 1970 г. по настоящее время и позволяет сравнивать качество сенсоров, оптимизировать конструктивно-технологические решения, оценивать перспективы и тенденции развития сенсоров механических величин с технической и экономической ("рыночной") точки зрения |