Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 36 Автор(ы) : Белов А. Н., Гаврилов С. А., Сагунова И. В., Тихомиров А. А., Чаплыгин Ю. А., Шевяков В. И. Заглавие : Тестовая структура для определения радиуса кривизны микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 5-6 . - С. 95-98: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с.98 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): структура тестовая--зонды микромеханические--радиус кривизны Аннотация: Приведено описание тестовой структуры на основе нанопрофилированного алюминия для определения радиуса кривизны острия игл микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии. На примере исследования геометрии различных микромеханических зондов проведена апробация тестовой структуры. Показано, что ее использование позволило определить геометрию острия зондов, в т.ч. сверхострых, радиус кривизны острия игл у которых составлял 2 нм Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белов, А. Н.; Гаврилов, С. А.; Сагунова, И. В.; Тихомиров, А. А.; Чаплыгин, Ю. А.; Шевяков, В. И.