Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Е 30 Автор(ы) : Егоров Г. П., Волков А. А., Устюжанинов А. Л. Заглавие : Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78: табл., рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 78 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопленки in-situ--метод измерения внутренних напряжений--пластина консольно закрепленная Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Волков, А. А.; Устюжанинов, А. Л.