Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 17 Автор(ы) : Калюжный Д. Г., Зонов Р. Г., Михеев Г. М. Заглавие : Использование сканирующего устройства для напыления углеродных нанопленок методом лазерной абляции Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 2. - С. 52-54: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 Примечания : Библиогр. : с. 54 (14 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): метод лазерной абляции--пленки углеродные--устройства сканирующие Аннотация: Показана возможность получения углеродных пленок на поверхности поддерживающих подложек методом лазерного испарения в вакууме, путем сканирования лазерного луча по поверхности неподвижной мишени. Пленки углерода наносились на кварцевые и стеклянные подложки. Скорость роста пленки 5,5 нм/мин. Были получены пленки толщиной от 20 нм до 3 мкм Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Зонов, Р. Г.; Михеев, Г. М.