Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 76 Автор(ы) : Лукин Е. С., Мазалов Ю. А., Попова Н. А., Федоров А. В. Заглавие : Применение нанокристаллического бемита в технологии подложек микросхем Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 63-66: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 Примечания : Библиогр. : с. 66 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): бемит нанокристаллический--подложки микросхем--свойства диэлектрические Аннотация: Приведены результаты экспериментальных исследований порошка нанокристаллического бемита, процесса уплотнения, микроструктуры и свойств корундовой керамики с пониженной температурой спекания. Керамические материалы, полученные из нанокристаллического бемита с подобранными добавками, спекаются до нулевой плотности при пониженных температурах, не выше 1400 - 1550°С. Керамика характеризуется мелкокристаллической структурой, имеет высокие диэлектрические свойства. Материалы являются перспективными в качестве подложек микросхем и спаев с металлами Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Лукин, Е. С.; Мазалов, Ю. А.; Попова, Н. А.; Федоров , А. В.