Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 35 Автор(ы) : Чернов В. А., Палагушкин А. Н., Прудников Н. В., Сергеев А. П., Сигейкин Г. И., Леонова Е. А. Заглавие : Изготовление и исследования свойств наноструктур для прямого преобразования ядерной энергии в электрическую с использованием эмиссии вторичных электронов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 2-9: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 9 (18 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электроны вторичные--преобразование ядерной энергии прямое--метод магнетронного распыления--структуры мдм--метод электронно-лучевого распыления Аннотация: Обоснованы требования к наноструктурам металл- диэлектрик-металл (МДМ-структуры), применяемым для прямого преобразования ядерной энергии в электрическую с использованием эмиссии вторичных электронов. Описаны методы изготовления МДМ-структур - метод магнетронного ионно-плазменного распыления и метод электронно-лучевого распыления. Изложены свойства изготовленных МДМ-структур W-Al2O3-Al с толщиной слоев 10, 100 и 10 нм соответственно Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Чернов, В. А.; Палагушкин, А. Н.; Прудников, Н. В.; Сергеев, А. П.; Сигейкин, Г. И.; Леонова, Е. А.