Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 32 Автор(ы) : Пивоненков Б. И., Школьников В. М. Заглавие : Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47: рис., табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 47 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометр пьезорезистивный --акселерометр трехкомпонентный --мэмс Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Школьников, В. М.