Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 21 Автор(ы) : Тарнавский Г. А., Чесноков С. С. Заглавие : Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 11 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация--примеси донорные и акцепторные--наноколонны рельефа Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Чесноков, С. С.