Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-93 Автор(ы) : Королева В. А., Капустян А. В., Жуков А. А., Гоголинский К. В., Усейнов А. С. Заглавие : Оценка изгибной жесткости и деформации микроразмерных исполнительных элементов устройств микросистемной техники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 39-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 42 (12 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): техника микросистемная--жесткость изгибная--элементы микроразмерные исполнительные--деформация Аннотация: Проведена экспериментальная оценка изгибной жесткости микроразмерных исполнительных элементов на основе монокристалaического кремния и структуры "ванадий-никель" путем сравнения зависимостей "нагрузка-деформация", измеренных на жестком конструкционном материале и подвижном исполнительном элементе из того же материала. Показано, что экспериментальные значения изгибных жесткостей исполнительных элементов близки к расчетным Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Королева, В. А.; Капустян, А. В.; Жуков , А. А.; Гоголинский, К. В.; Усейнов, А. С.