Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Тимошенков С. П., Гаев Д. С., Бойко А. Н., Горшкова Н. М. Заглавие : Исследование и разработка газопоглощающих покрытий для МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 24-27: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 27 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Методом магнетронного распыления получены наноструктуированные пленки состава Ti1-хVх, представляющие интерес в качестве геттерных покрытий в микроэлектромеханических системах. Показано, что получаемые покрытия имеют выраженный гранулированный характер с размером зерен в диапазоне 20...120 нм. Рассчитанные значения фрактальной размерности свидетельствуют о высокой развитости поверхности пленок Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Тимошенков, С. П.; Гаев, Д. С.; Бойко, А. Н.; Горшкова, Н. М.