Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/В 58 Автор(ы) : Корпухин А. С., Бабаевский П. Г, Жуков А. А., Козлов Д. В., Смирнов И. П. Заглавие : Влияние условий формирования и толщины слоев на термодеформационные характеристики полиимид-кремниевых упруго-шарнирных балок тепловых актюаторов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 34-40: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 40 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Исследовано влияние условий формирования и толщины полиимидного слоя, состояния балки в процессе его имидизации, а также природы и толщины функционального металлического слоя на начальный угол отклонения слоистых композиционных упруго-шарнирных полиимид-кремниевых консольных балок тепловых актюаторов и его изменение при нагревании и охлаждении. Установлено, что с точки зрения направленного регулирования этих характеристик важнейшую роль играют температура имидизации и толщина полиимидных слоев в упруго-шарнирной области, а также свободное или заневоленное состояние балок в процессе имидизации. Функциональные слои металлов толщиной порядка 0,1 мкм незначительно влияют на термодеформационные характеристики балок, а при увеличении их толщины - резко ухудшают эти параметры Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Корпухин, А. С.; Бабаевский, П. Г; Жуков , А. А.; Козлов, Д. В.; Смирнов, И. П.