Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 648.4/В 24 Автор(ы) : Акуленок, Марина Викторовна, Андреев, Владимир Михайлович, Громов, Дмитрий Геннадьевич, Зиновьев Д. В. Заглавие : Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учеб. изд.] : в двух т./ [ред. Ю. Н. Коркишко]. - (Нанотехнологии). Т. 2: Технологические аспекты Выходные данные : М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011 Колич.характеристики :252 с.: граф., рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 243-248 ISBN, Цена 978-5-9963-0335-9: 303.60 р. ГРНТИ : 47 ББК : 648.441я73 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Коркишко, Ю. Н. \ред.\; Акуленок, Марина Викторовна; Андреев, Владимир Михайлович; Громов, Дмитрий Геннадьевич; Зиновьев, Д. В.