Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/В 58 Автор(ы) : Колпаков А. Я., Суджанская И. В., Галкина М. Е., Гончаров И. Ю., Поплавский А. И., Манохин С. С. Заглавие : Влияние степени легирования азотом и толщины на электропроводность и морфологию наноразмерных углеродных покрытий на кремнии Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 3-4. - С. 43-45: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 45 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Углеродные покрытия, легированные азотом толщиной до 100 нм, получены на подложках монокристаллического кремния импульсным вакуумно-дуговым методом при напуске азота в вакуумную камеру. Исследована зависимость удельной электропроводности от давления азота. Методом спектроскопии характеристических потерь энергий электронов определяли содержание азота в покрытии и энергию плазмона. Морфологию покрытия исследовали методами сканирующей зондовой микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Установлен нелинейный характер зависимости удельной электропроводности от давления азота и толщины, а также корреляционная связь между морфологией покрытия, удельной электропроводностью и энергией плазмона. Предложены объяснения полученных результатов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Колпаков, А. Я.; Суджанская, И. В.; Галкина, М. Е.; Гончаров, И. Ю.; Поплавский, А. И.; Манохин, С. С.