Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 74 Автор(ы) : Аракелян С. М., Кутровская С. В., Кучерик А. О., Троицкий Д. П., Прокошев В. Г., Быков В. А., Леесмент С. И. Заглавие : Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 4-8: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 8 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований по модификации зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) путем осаждения на поверхность балки кантилевера вольфрамового острия методом фокусированных ионных пучков (ФИП) с применением высокоселективной газовой химии. Показано, что полученные методом ФИП зонды длиной 5 мкм и радиусом закругления порядка 50 нм позволяют повысить точность измерений тестовых объектов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и модификации зондовых датчиков-кантилеверов АСМ, а также при исследовании структур микро-и наносистемной техники Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Аракелян, С. М.; Кутровская, С. В.; Кучерик, А. О.; Троицкий, Д. П.; Прокошев, В. Г.; Быков , В. А.; Леесмент, С. И.