Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 27 Автор(ы) : Амеличев В. В., Годовицын И. В., Сайкин Д. А. Заглавие : Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 39-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 45 ( 11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Описана разработка технологии изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов с использованием КНИ-пластин. К достоинствам разработанной технологии можно отнести необходимость только одного процесса анодной посадки и только одного стекла, обработка которого ограничивается формированием углублений для геттера. Обработка КНИ-пластины и стекла ведется групповым способом, анодная сварка проводится на заключительном этапе обработки. Сформирована структура резонатора в герметизированной камере. Показано, что значения основных электрофизических параметров структуры (сопротивление подвесов, наряжение притягивания) соответствуют расчетным. Проанализированы перспективы разработанной технологии Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Годовицын, И. В.; Сайкин, Д. А.