Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 648.4/Г 16 Автор(ы) : Галперин, Вячеслав Александрович, Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович Заглавие : Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов Выходные данные : М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 Колич.характеристики :283 с Серия: Нанотехнологии Примечания : Библиогр.: с. 275-280 ISBN, Цена 978-5-9963-0032-7: 330.00 р. ГРНТИ : 47 ББК : 648.441я73 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С. П. \ред.\