Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 25 Автор(ы) : Раткин Л. С. Заглавие : Перспективы развития размерной метрологии в сфере нанотехнологий и микроэлектроники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 5. - С. 2-6. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 6 (18 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Научная сессия Отделения нанотехнологий и информационных технологий (ОНИТ) Российской академии наук (РАН), доведенная в Москве в 2010 году под председательством директора Физико-технологического института РАН академика Орликовского А. А., была посвящена перспективам развития размерной метрологии в сфере нанотехнологий и микроэлектроники. На сессии, в частности, обсуждались вопросы стандартизации и метрологического обеспечения в микро- и нанотехнологиях, нанометрологии при измерениях геометрических параметров изделий, калибровки растровых электронных микроскопов (РЭМ) и атомно-силовых микроскопов (АСМ), прецизионных измерений в нанометровом диапазоне, нейтронно-синхротронного исследования наноматериалов, сканирующей зондовой микроскопии для изучения наносистем и наноматериалов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН