Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 34 Автор(ы) : Сидорова С. В., Юрченко П. И. Заглавие : Исследование формирования островковых наноструктур в вакууме Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 5. - С. 9-11: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 11 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Приводятся результаты исследования формирования островковых наноструктур в вакууме методом термического испарения. Представлены экспериментальный стенд и методика контроля роста островковых наноструктур в процессе испарения меди. Показаны зависимости размеров островковых наноструктур от технологических параметров Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Юрченко, П. И.