Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Заглавие : Повышение временной стабильности датчиков давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 31-38: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 38 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрена временная стабильность датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС), выработаны условия и критерии временной стабильности. Предложен структурно-факторный метод повышения временной стабильности НиМЭМС. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных условий и критериев временной стабильности НиМЭМС Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.