Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 61 Автор(ы) : Годовицын И. В., Амеличев В. В., Сауров А. Н., Генералов С. С., Гаврилов Р. О. Заглавие : Миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления: итоги двадцатипятилетия Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 29-41: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 41 (31 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Проведен анализ разработок в области миниатюрных тензорезистивных преобразователей давления с 1985 года по настоящее время. Показано основное отличие миниатюрных преобразователей давления от традиционных - формирование мембраны с помощью осаждения - и вытекающие из этого конструктивно-технологические особенности миниатюрных преобразователей. Проанализированы достоинства и недостатки миниатюрных преобразователей давления. Даны характерные примеры применений миниатюрных преобразователей давления. Показана необходимость увеличения чувствительности миниатюрных преобразователей давления для повышения их привлекательности как средства измерения Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Годовицын, И. В.; Амеличев, В. В.; Сауров, А. Н.; Генералов, С. С.; Гаврилов, Р. О.