Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/В 19 Автор(ы) : Васильев В. А., Чернов П. С. Заглавие : Диффузионная модель роста и морфология поверхностей тонких пленок материалов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 11-16: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 16 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Дан обзор моделей роста поверхностей материалов. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и учитывающая диффузию частиц. Она позволяет исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Представлены результаты сравнения экспериментальных данных, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии, и теоретических, полученных путем моделирования с использованием предложенной диффузионной модели Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Чернов, П. С.